本研究室で使用している装置の紹介です。
- 3次元アトムプローブ(APT)
- 集束イオンビーム(FIB)
- 透過電子顕微鏡(TEM)
- ・局所電極型
・レーザーアシスト付
・エネルギー補償型
測定対象試料中の原子の位置と種類を調べます。元素を3次元的に原子レベルでマッピングすることができます。 また、レーザーアシストにより、従来の金属材料に加えて、半導体・絶縁体材料の測定もできるようになりました。 - ・走査電子顕微鏡付
細く集束させたガリウムイオンビームを用いて、試料を微細加工します。 アトムプローブや電子顕微鏡のための試料を作ることができます。 - 最新の球面収差補正つきTEM。超微少な転位ループやナノボイドなどの観察できます。
- 低速陽電子ビーム
- 陽電子消滅同時計数ドップラー広がり測定装置
- 陽電子寿命測定装置
- エネルギーを揃えた陽電子ビームを用いて、試料表面の状態を調べます。 陽電子ビームのエネルギーを（0-30）kVの範囲で変えることができるため、調べたい深さの情報を得られます。
- 陽電子消滅ガンマ線のエネルギーを測定する装置です。 陽電子が試料中のどんな場所で捕獲されたのかを調べることができます。
- ・トリプルコインシデンス式
陽電子寿命を測定します。試料中の空孔型欠陥を調べることができます。 ストップ側の同時計測を行うことにより、強く放射化した照射試料の測定もできます。
- 陽電子消滅２次元角相関
- EBSD
- ナノインデンター
- 陽電子消滅ガンマ線の角度の相関を測定します。フェルミ面などを調べることができます。
- FIBにはEBSD(Electron Back Scatter Diffraction Patterns)がついており、 微少なサブミクロン領域の結晶観察が行えます。
- 超微少硬さ試験。圧子の押し込み荷重と深さを連続的に測定し、微少変位領域の硬さを計測することができます。
- AMOC(Age Momentum Correlation)
- 破面蒸着保護膜形成装置
- 電子スピン共鳴装置
- 陽電子寿命法とドップラー広がり法の相関測定が可能です。
- 超高真空中で試料を破断させ、できた破面に直ちに蒸着を行って破面を保護します。 破面直下からのアトムプローブ観察などができます。
- 不対電子を検出する装置です。絶縁体や半導体中の常磁性欠陥を調べることができます。